355nm UV 레이저를 이용한 AZ5214와 SU-8 포토레지스트 어블레이션에 관한 연구

오재용; 신보성; 김호상

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자료유형: 학술저널

저자정보: 오재용 (부산대학교 대학원) 신보성 (부산대학교 정밀정형 및 금형가공연구소) 김호상 (고등기술연구원)

저널정보: 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제10권 제2호

발행연도: 2007.1

수록면: 17 - 24 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2012

355nm UV 레이저에 의한 폴리이미드의 광화학적 어블레이션 형상 예측

오재용 , 박덕수 , 신보성 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012.04 학술대회자료

2007

355nm UV 레이저를 이용한 SU-8 포토레지스터 어블레이션에 관한 기초 연구

오재용 , 신보성 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

355㎚ UV 레이저 가공에 의한 폴리이미드의 광화학적 및 광열적 어블레이션에 관한 연구

오재용 , 신보성 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.04 학술저널

355㎚ UV 레이저를 이용한 구리 박판 가공 시 어블레이션에 관한 연구

오재용 , 신보성 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.02 학술저널

355nm UV 레이저를 이용한 AZ5214와 SU-8 포토레지스트 어블레이션에 관한 연구

오재용 , 신보성 , 김호상 한국레이저가공학회지 2007.01 학술저널

2006

355㎚ 펄스 레이저를 이용한 구리 박막의 레이저 어블레이션에 대한 연구

오재용 , 신보성 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

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We have studied a laser direct writing lithography(LDWL). This is more important to apply to micro patterning using UV laser. We demonstrate the possibility of LDWL and construct the fabrication system. We use Galvano scanner to process quickly micro patterns from computer data. And laser beam is focused with $F-{\theta}$ lens. AZ5214 and SU-8 photoresist are chosen as experimental materials and a kind of well-known positive and negative photoresist respectively. Laser ablation mechanism depends on the optical properties of polymer. In this paper, therefore we investigate the phenomenon of laser ablation according to the laser fluence variation and measure the shape profile of micro patterned holes. From these experimental results, we show that LDWL is very useful to process various micro patterns directly.

#UV laser ablation #AZ5214 #SU-8 #direct writing lithography

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오재용

소속기관 부산대학교 대학원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 7 이용수 14

신보성

소속기관 부산대학교 정밀정형 및 금형가공연구소

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 19 이용수 19

김호상

소속기관 고등기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 5 이용수 11

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