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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.4
발행연도
2007.4
수록면
147 - 152 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2012

355nm UV 레이저에 의한 폴리이미드의 광화학적 어블레이션 형상 예측
오재용 ,  박덕수 ,  신보성 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012.04 학술대회자료

2007

355nm UV 레이저를 이용한 SU-8 포토레지스터 어블레이션에 관한 기초 연구
오재용 ,  신보성 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료
355㎚ UV 레이저 가공에 의한 폴리이미드의 광화학적 및 광열적 어블레이션에 관한 연구
오재용 ,  신보성 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.04 학술저널
355㎚ UV 레이저를 이용한 구리 박판 가공 시 어블레이션에 관한 연구
오재용 ,  신보성 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.02 학술저널
355nm UV 레이저를 이용한 AZ5214와 SU-8 포토레지스트 어블레이션에 관한 연구
오재용 ,  신보성 ,  김호상 한국레이저가공학회지 2007.01 학술저널

2006

355㎚ 펄스 레이저를 이용한 구리 박막의 레이저 어블레이션에 대한 연구
오재용 ,  신보성 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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UV laser ablation of polyimide is a combination of photochemical and photothermal mechanism. Photochemical mechanism is that molecular bonds are broken by photon energy and photothermal is evaporation and melt expulsion. When the laser processing, the etching depth needs to be calculated for prediction of processing result. In this paper, in order to predict the laser etching depth of poly imide by UV laser with the wavelength of355nm, the theoretical model which includes both the photothermal and the photochemical effect was introduced. The model parameters were obtained by comparing with experimental results. The 3rd harmonic Nd:YVO₄ laser system was used in the experiment. From these experimental and theoretical results, the laser ablation of a polyimide was verified to achieve the highest quality microstructure.
#UV laser(자외선 레이저) #Polyimide(폴리이미드) #Laser ablation(레이저 어블레이션) #Photochemical effect(광화학적 효과) #Photothermal effect(광열적 효과)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 기술적 배경
3. 실험 및 검증
4. 결론
후기
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