지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
$Sn_XSe_{100-X}$ (15|X|30) alloys have been studied to explore their suitability as phase change materials for nonvolatile memory applications. The phase change characteristics of thin films prepared by a Radio Frequency (RF) magnetron co-sputtering system were analyzed by an X-ray diffractometer and 4-point probe measurement. A phase change static tester was also used to determine their crystallization under the pulsed laser irradiation. X-ray diffraction measurements show that the transition in sheet resistance is accompanied by crystallization. The amorphous state showed sheet resistances five orders of magnitude higher than that of the crystalline state in $Sn_XSe_{100-X}$ (x = 15, 20, 25, 30) films. In the optimum composition, the minimum time of $Sn_XSe_{100-X}$ alloys for crystallization was 160, 140, 150, and 30ns at 15mW, respectively. The crystallization temperature and the minimum time for crystallization of thin films were increased by increasing the amount of Sn, which is correlated with the activation energy for crystallization.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Crystallization Behavior of ITO Thin Films with and without External Heating during RF-Magnetron Sputtering
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003 .01
-
N<sub>2</sub>와 NH<sub>3</sub> 반응성가스를 사용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 AlN박막의 특성
한국재료학회지
2015 .01
-
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 XPS 분석
한국안광학회지
1998 .12
-
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 면저항분석
한국안광학회지
1999 .06
-
SOLID PHASE CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON THIN FILM BY SURFACE ACTIVATION TREATMENT
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장 된 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 증착 압력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
-
Influence of Sn/Bi doping on the phase change characteristics of $Ge_2Sb_2Te_5$
정보저장시스템학회논문집
2005 .01
-
스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$박막의 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
-
RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회지
1994 .01
-
New Solid-phase Crystallization of Amorphous Silicon by Selective Area Heating
Journal of information display
2009 .01
-
Microwave-Enhanced Low-Temperature Crystallization of Amorphous Silicon Films for TFTs
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
-
RF magnetron sputtering법에 의해 층착된 $BaTiO_3$ 박막의 in situ 결정화 양상 및 특성
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
-
A New Secondary Crystallization Model
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2000 .04
-
Fluctuation Induced Crystallization: in a Simultaneously Phase Separation and Crystallization Polyolefin Blend System
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2006 .10
-
Controlling Preferred Orientation of ITO Thin Films by RF-Magnetron Sputtering Method
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003 .01
-
The Substrate Effects on Kinetics and Mechanism of Solid-Phase Crystallization of Amorphous Silicon Thin Films
[ETRI] ETRI Journal
1997 .02
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성
한국표면공학회지
2018 .04
-
RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
-
Laser를 이용하지 않는 비정질 실리콘 박막의 극저온결정화
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0