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학술대회자료
저자정보
Park, Ju-O (Dept. of Inorganic Materials Engineering Kyungpook National University) Kim, Jae-Hyung (Dept. of Inorganic Materials Engineering Kyungpook National University) Lee, Joon-Hyung (Dept. of Inorganic Materials Engineering Kyungpook National University) Kim, Jeong-Joo (Dept. of Inorganic Materials Engineering Kyungpook National University) Cho, Sang-Hee (Dept. of Inorganic Materials Engineering Kyungpook National University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2003.1
수록면
818 - 821 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2003

Crystallization Behavior of ITO Thin Films with and without External Heating during RF-Magnetron Sputtering
Pa ,  k ,  Ju-O 외 6명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2003.01 학술대회자료
Controlling Preferred Orientation of ITO Thin Films by RF-Magnetron Sputtering Method
Pa ,  k ,  Ju-O 외 8명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Sn-doped $In_{2}O_{3}$ (ITO) thin film is one of the materials widely on research not only in the academic fields but also in industrial fields because of their transparency, high conductivity and good adhesion characteristics on substrate. ITO thin films are usually preferred oriented to one of the (222), (400), and (440) planes during crystallization process, which is dependent on processing variables. The preferred orientation affects electrical, optical and etching properties of the films. In this study, thin films of preferred oriented in different orientation were fabricated by controlling processing variables. The crystallization behavior, grain size, surface roughness, transparency and electrical properties of the thin films in different orientation were examined.

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