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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박철영 (한국생산기술연구원 호남권 기술본부)
저널정보
조선대학교 기초과학연구원 조선자연과학논문집 조선자연과학논문집 제2권 제3호
발행연도
2009.1
수록면
211 - 214 (4page)

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A new porous silicon (PSi) microcavity sensor for the detection of volatile organic compounds (VOCs) was developed. PSi microcavity sensor exhibiting unique reflectivity was successfully obtained by an electrochemical etching of silicon wafer. When PSi was fabricated into a structure consisting of two high reflectivity muktilayer mirrors separated by an active layer, a microcavity was formed. This PSi microcavity is very sensitive structures. Reflection spectrum of PSi microcavity indicated that the full-width at half-maximum (FWHM) was of 10 nm and much narrower than that of fluorescent organic molecules or quantum dot. The detection of volatile organic compounds (VOCs) using PSi microcavity was achieved. When the vapor of VOCs condensed in the nanopores, the refractive indices of entire particle increased. When PSi microcavity was exposed to acetone, ether, and toluene, PSi microcavity in reflectivity was red shifted by 28 nm, 33 nm, and 20 nm for 2 sec, respectively.
#Porous silicon #Microcavity #VOCs #Detection #Red-shift #Reflectivity

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