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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
황하수 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부) 이진균 (코넬대학교 재료공학과) 박인 (한국생산기술연구원 환경에너지본부 청정소재팀) 허훈 (한국생산기술연구원 환경에너지본부 청정소재팀) 임권택 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부)
저널정보
한국공업화학회 공업화학 공업화학 제19권 제4호
발행연도
2008.1
수록면
402 - 406 (5page)

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자유 라디칼 중합법으로 친 이산화탄소성 단량체인 퍼플로로데실메타크릴레이트(FDMA)와 산에 불안정한 단량체인 tert-부틸메타크릴레이트(TBMA)로 구성된 랜덤 공중합체를 합성하였다. 합성된 공중합체의 이산화탄소에 대한 용해도 특성 및 365 nm 노광에서의 포토레지스트 감도 특성에 관하여 조사하였다. 또한, 랜덤 공중합체를 이용하여 형성된 패턴을 플라즈마 에칭을 통해 전도성 고분자인 poly(styrenesulfonate): poly(3,4-ethylenedioxythiophene) (PSS : PEDOT)에 전사하여 미크론크기의 PSS : PEDOT 패턴을 제조할 수 있었다.
#supercritical carbon dioxide #photoresist #copolymer #conducting polymer

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