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자료유형
학술저널
저자정보
민경익 (한국기계연구원) 김재구 (한국기계연구원) 조성학 (한국기계연구원) 최두선 (한국기계연구원) 황경현 (한국기계연구원)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제12권 제3호
발행연도
2009.1
수록면
1 - 6 (6page)

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This paper describes the method for the fabrication of micro dot array on a plastic mold steel using DPSS (diode pumped solid-states) UV laser and wet etching process. We suggest the process of the ablation of a photoresist (PR) coated on plastic mold steel and wet etching process using solutions of various concentrations of $FeCl_3$, $HNO_3$ in water as etchant. This method makes it possible to fabricate metallic roller mold because the microstructures are directly fabricated on the metal surface. In the range of operating conditions studied, $17\;{\mu}J$ laser pulse energy and 50 ms laser exposure time, an etchant containing 40wt% $FeCl_3$, 5wt% $HNO_3$ and etch time for 45 s gave the $10\;{\mu}m$ of micro dot pattern on plastic mold steel.
#DPSS UV Laser #Laser ablation #Wet etching #Stainless steel #Micro lens array

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