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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
천권수 (대구가톨릭대학교 방사선학과)
저널정보
한국방사선학회 한국방사선학회 논문지 한국방사선학회 논문지 제4권 제3호
발행연도
2010.1
수록면
27 - 31 (5page)

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엑스선 영상의 공간분해능은 영상획득 장치에 사용되는 광학소자의 성능에 의해 결정된다. 8.5keV에서 높은 공간분해능 달성이 가능한 존 플레이트를 설계하였다. 방사광을 이용하는 대신 엑스선 튜브를 사용하는 영상시스템에서는 80nm의 공간분해능을 달성할 수 있음을 광선추적 기법을 이용하여 예측하였다. 전자빔 석판인쇄술을 이용하여 최외곽 폭 40nm를 갖는 존 플레이트가 제작하였다.
#Hard x-ray #Zone plate #Spatial resolution #Electron-beam lithography

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David C / 2009 / 9th Intrnational Conference on X-Ray Microscopy, Journal of Physics Conference Series 186, Institude of Physisc google schola Chao W / 2005 / Soft X-ray Microscopy at Spatial Resolution Better than 15 nm / Nature 435:1210~1213 google schola Chen YT / 2008 / Full-field hard x-ray microscopy below 30 nm: a challenging nanofabrication achievement / Nanotechology 19:302~395 google schola Kirz J / 1974 / Phase zone plates for X rays and the extreme UV / Journal of Optical Society of America 64:301~309 google schola Attwood D / 1999 / Soft X-rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications / Cambridge University Press google schola

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