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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
노영록 (한양대학교 전자전기제어계측공학과) 김종필 (한양대학교 전자전기제어계측공학과) 박진석 (한양대학교 전자전기제어계측공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제9권 제1호
발행연도
2010.1
수록면
41 - 47 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

질화탄소 표면층 및 열처리가 탄소 나노튜브 미세팁의 전계방출 및 장시간 안정성에 미치는 영향
노영록 ,  김종필 ,  박진석 반도체디스플레이기술학회지 2010.01 학술저널

2009

탄소 나노튜브에 대한 비정질 질화막의 코팅 및 전계방출 특성
노영록 ,  김종필 ,  박진석 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.07 학술대회자료

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The effects of thermal treatment on CNTs, which were coated with a-$CN_x$ thin film, were investigated and related to variations of chemical bonding and morphologies of CNTs and also properties of field emission induced by thermal treatment. CNTs were directly grown on nano-sized conical-type tungsten tips via the inductively coupled plasma-chemical vapor deposition (ICP-CVD) system, and a-$CN_x$ films were coated on the CNTs using an RF magnetron sputtering system. Thermal treatment on a-$CN_x$ coated CNT-emitters was performed using a rapid thermal annealing (RTA) system by varying temperature ($300-700^{\circ}C$). Morphologies and microstructures of a-$CN_x$/CNTs hetero-structured emitters were analyzed by FESEM and HRTEM. Chemical composition and atomic bonding structures were analyzed by EDX, Raman spectroscopy, and XPS. The field emission properties of the a-$CN_x$/CNTs hetero-structured emitters were measured using a high vacuum (below $10^{-7}$ Torr) field-emission measurement system. For characterization of emission stability, the fluctuation and degradation of the emission current were monitored in terms of operation time. The results were compared with a-$CN_x$ coated CNT-emitters that were not thermally heated as well as with the conventional non-coated CNT-emitters.
#Carbon nanotube #Amorphous carbon nitride #Thermal treatment #Field emission #Long-term stability

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