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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이응기 (공주대학교 기계자동차공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제7권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
35 - 40 (6page)

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In OLED vacuum evaporation process, the essential requirements include good uniformity of the film thickness over a glass substrate. And, it is commercially significant to improve the consuming efficiency of material of the evaporant which is deposited on the substrate because of high price of organic materials. In this paper, to achieve the better thickness uniformity and the better organic material consuming rate, a process optimization algorithm was developed by understanding vacuum evaporation process parameters that affect the material consuming efficiency and the uniformity of film thickness. Based on the method developed in this study, the vacuum evaporation process of OLED was successfully controlled. The developed method allowed the manufacture of high quality OLED displays with cheaper fabrication cost.
#OLED #organic electro-luminescent emitting display) #vacuum evaporation #thin film #thickness uniformity #efficiency

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