Microstructural investigation of excimer laser-crystallized metallic thin films

Zhong, R.; Wiezorek, J.M.K.; Leonard, J.P.

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저자정보: Zhong, R. (Department of Materials Science and Engineering, University of Pittsburgh) Wiezorek, J.M.K. (Department of Materials Science and Engineering, University of Pittsburgh) Leonard, J.P. (Department of Materials Science and Engineering, University of Pittsburgh)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display

발행연도: 2006.1

수록면: 1,739 - 1,743 (5page)

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Recent advances in the microstructural modification of metal films using excimer laser projection irradiation and lateral resolidification are discussed. Pure copper films have been directionally resolidified into large sheet-like grains when properly encapsulated for suppression of liquid-phase dewetting. A survey and quantitative assessment of the defects found in these icrostructures, typical for rapidly solidified metals, is presented.

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Zhong, R.

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, University of Pittsburgh

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 0

Wiezorek, J.M.K.

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, University of Pittsburgh

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Leonard, J.P.

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