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저자정보
Ahn, Seong-Deok (Basic Research Lab. & ETRI) Kang, Seung-Youl (Basic Research Lab. & ETRI) Lee, Yong-Eui (Basic Research Lab. & ETRI) Kim, Chul-Am (Basic Research Lab. & ETRI) Joung, Meyong-Ju (Basic Research Lab. & ETRI) Suh, Kyung-Soo (Basic Research Lab. & ETRI)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2003.1
수록면
998 - 1,000 (3page)

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We have investigated thin film morphology of pentacene thin films by the process of low-pressure gas assisted organic vapor deposition (LP-GAOVD). Source temperature, inert gas flow rate, substrate temperature and deposition pressure during film deposition is used to vary the growth rate, thin film morphology and the crystalline grain size of pentacene thin films. The electrical properties of pentacene thin films for applications in organic thin film transistor and electrophoretic displays will be discussed.

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