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자료유형
학술대회자료
저자정보
Jung, Ji-Sim (Dept. of Physics and TFT-LCD National Lab., Kyung Hee University) Cho, Kyu-Sik (Dept. of Physics and TFT-LCD National Lab., Kyung Hee University) Jang, Jin (Dept. of Physics and TFT-LCD National Lab., Kyung Hee University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2002.1
수록면
163 - 166 (4page)

이용수

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We studied the growth of large-grain pentacene film by organic vapour phase deposition. The optimizations of the growth of pentacene are carried out by varying the gas pressure in the reactor and substrate temperature. We found that the grain size depends strongly on the gas pressure in the reactor. The grain size of $20{\mu}m$ has been obtained at the gas pressure of 200 Torr. The film was found to be strongly (001) oriented and its grain size decreases with decreasing the gas pressure.

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