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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
박진원 (영남대학교 물리학과) 엄천일 (한국표준과학연구원 역학연구부, 한국표준과학연구원 역학연구부, 영남대학교 물리학과, 영남대학교 물리학과, 영남대학교 물리학과, 영남대학교 물리학과)
저널정보
한국결정학회 한국결정학회지 한국결정학회지 제6권 제2호
발행연도
1995.1
수록면
88 - 92 (5page)

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X-선을 이용한 초정밀 측정은 길이, 각도, 결정구조해석 등 많은 분야에서 응용되고 있다. 본 논문은 실리콘 결정을 이용한 초정밀 각도측정에 대한 결과이다. 실리콘 단결정 내부의 여섯 개의 [220] 격자면들은 60°의 사이각(정확도 ∼10-8 rad) 을 이루고 있으므로 육가기둥형의 다면체를 만들어 각도 표준물로 이용하였다. 이러한 각도교정용 실리콘 다면체(silicon polygon)를 사용하여 분해능이 0.36"인 회전엔코더(rotary encoder)의 정확도를 교정하였고, 그 결과를 기존의 회전눈금원판(indexing table)을 사용하여 교정한 결과와 비교하였다.

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