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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김한주 (서울대학교 금속공학과) 주승기 (서울대학교 금속공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제4권 제2호
발행연도
1994.1
수록면
227 - 232 (6page)

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450KHz 저주파수로 플라즈마 화학증착법을 이용하여 Diamondlike carbon박막을 제작하고 optical band gap, 미소경도, 내부응력 등의 물성에 대하여 13.56MHz의 전원을 사용했을 때보다 optical band gap이 감소하였으며 FT-IR및 CHN분석결과 박막 내의 C-H결합농도와 총 수소의 함량이 크게 감소하는 것으로 밝혀졌다. 또한 저주파수로 DLC 박막을 형성하는 경우 미소경도의 희생없이 내부응력을 크게 줄일 수 있어 기판과의 접착성이 향상될 것으로 기대되었다.

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