Diethylzinc를 사용하여 PECVD로 증착한 ZnO 박막의 미세 구조 분석

김영진; 김형준

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김영진 (경기대학교 재료공학과) 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)

저널정보: 한국결정학회 한국결정학회지 한국결정학회지 제4권 제2호

발행연도: 1993.1

수록면: 92 - 99 (8page)

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Diethylzinc를 사용하여 PECVD장치로 ZnO 박막을 증 착하여 미세구조를 분석하였다. 기판 온도 100℃에서부터 이미 미세 결정 입자로 구성된 ZnO 박막의 증착이 가능했으며, 200℃이상에서는 C 축 배향성이 뛰어난 ZnO 박막이 유리 기판위에 증착되었다. c-면 사파이어 기판위에 증착된 ZnO 박막을 TEM으로 분석한 결과 기판 온도 350℃에서 EPITAXIAL (002) ZnO 박막이 성장됐으며, 입계에서는 Moire패턴에 의한 dislocation이 관찰되었다.

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김영진

소속기관 한국석회석신소재연구소 연구개발실

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 환경공학 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 38 이용수 110

김형준

소속기관 연세대학교 전기전자공학부

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 117 이용수 225

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