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학술저널
저자정보
최현석 (한양대학교 정밀기계공학과) 송치우 (한양대학교 정밀기계공학과) 한창수 (한양대학교 기계정보 경영학부) 이형욱 (한국 생산기술연구원) 최태훈 (한국 생산기술연구원) 이낙규 (한국 생산기술연구원) 나경환 (한국 생산기술연구원)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체장비학회지 한국반도체장비학회지 제2권 제2호
발행연도
2003.1
수록면
31 - 37 (7page)

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This paper presents a measurement system of mechanical property using dual servo system. There are many kinds of method to measure material properties such as tensile test, indention and bending test. It is highly required to measure the properties of nano-sized material and structure. However, It is need more accurate measurement system, more stable and frequency response than conventional test. In this paper, we designed the dual servo system for a measuring instrument The dual servo system consisting of a coarse stage and a fine motion stage with VCM and PZT is proposed. Mechanical mechanism is designed with the leaf spring type of flexure hinge joint. Lead compensator is applied to this control system, and is designed by PQ method.
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