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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
신동식 (한국기계연구원 레이저응용시스템그룹) 이제훈 (한국기계연구원 레이저응용시스템그룹) 서정 (한국기계연구원 레이저응용시스템그룹) 김도훈 (연세대학교 금속공학과)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제6권 제1호
발행연도
2003.1
수록면
33 - 40 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2003

마이크로 금형 제작을 위한 PET의 엑시머 레이저 어블레이션
신동식 ,  이제훈 ,  서정 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2003.10 학술대회자료
마이크로 금형 제작을 위한 PET의 엑시머 레이저 어블레이션 - 퓨리에 광학을 이용한 가공 단면 형상의 제어 -
신동식 ,  이제훈 ,  서정 외 1명 한국레이저가공학회지 2003.01 학술저널
니켈 전주도금을 위한 PET의 엑시머 레이저 어블레이션
신동식 ,  이제훈 ,  서정 외 1명 한국레이저가공학회지 2003.01 학술저널
엑시머 레이저를 이용한 PMMA와 PET의 가공
신동식 ,  이제훈 ,  서정 외 1명 한국레이저가공학회지 2003.01 학술저널
PMMA 및 PET의 엑시머 레이저 어블레이션에 관한 연구
신동식 ,  이제훈 ,  서정 외 1명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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The ablative decomposition mechanism of PMMA(polymethyl methacrylate) and PET(polyethylene terephthalate) with KrF excimer laser(λ : 248nm, pulse duration: 5㎱) is investigated. The UV/Vis spectrometer analysis showed that PMMA is a weak absorber and PET is a strong absorber at the wavelength of 248nm. The results(surface debris, melt, etch depth, etching shape) from drilling and direct writing experiments imply that ablation mechanism of PMMA is dominated by photothermal process, while that of PET is dominated by photochemical process.
#엑시머레이저 #어블레이션 #광화학반응 #광열반응

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