$RuO_2$박막의 미세 구조가 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 특성에 미치는 영향

김한기; 윤영수; 임재홍; 조원일; 성태연; 신영화

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김한기 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) 윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) 임재홍 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) 조원일 (연료전지센터) 성태연 (광주과학기술원 신소재공학과) 신영화 (경원대학교 전자공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제11권 제8호

발행연도: 2001.1

수록면: 671 - 678 (8page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2001

$RuO_2$박막의 미세 구조가 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 특성에 미치는 영향

김한기 , 윤영수 , 임재홍 외 3명 한국재료학회지 2001.01 학술저널

코발트 산화물 박막을 이용한 박막형 슈퍼 캐패시터의 제작 및 특성평가

김한기 , 임재홍 , 전은정 외 3명 한국재료학회지 2001.01 학술저널

코발트 산화물 박막을 이용한 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 제작 및 특성 평가

김한기 , 임재홍 , 전은정 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2001.01 학술대회자료

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$RuO_2$ 박막을 전극으로 하여 Pt/Ti/Si 기판 위에 $RuO_2$ /LiPON/$RuO_2$의 다층 구조로 이루어진 전고상의 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터를 제작하였다. 전극용 $RuO_2$박막은 반응성 dc 마그네트론 스퍼터를 이용하여 $O_2$/[Ar+$O_2$]비를 증가시키며 성장시켰고, 비정질 LiPON 고체전해질 박막은 순수한 질소분위기 하에서 rf 스퍼터링으로 성장시켰다. 상온에서의 충-방전 측정을 통해 $RuO_2$ 박막의 미세구조에 따라 슈퍼캐패시터의 사이클 특성이 영향을 받는 것을 알 수 있었다. Glancing angle x-ray diffraction(GXRD)과 transmission electron microscopy (TEM) 분석을 통해 산소 유량의 증가가 $RuO_2$박막의 미세 구조의 영향을 주는 것을 알 수 있었고, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 산소 유량 비의 증가가 Ru과 산소간의 결합에도 영향을 줌을 알 수 있었다. 또한 사이클 후 슈퍼캐패시터의 TEM 및 AES depth profiling 분석을 통해, 충-방전 시 $RuO_2$와 LiPON과의 계면반응에 의해 형성된 계면 층이 사이클 특성에 영향을 줌을 알 수 있었다.

#thin film supercapacitor #LiPON electrolyte #RuO $_2$ electrode #TEM #GXRD #cyclibility

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이 논문의 저자 정보

김한기

소속기관 경희대학교 정보전자신소재공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 24 이용수 28

윤영수

소속기관 건국대학교 신기술융합과