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학술저널
저자정보
김수길 (호서대학교 전기정보통신공학부 정보제어공학과) 홍선기 (호서대학교 전기정보통신공학부 정보제어공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제4권 제1호
발행연도
2005.1
수록면
17 - 21 (5page)

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We presented a new method to obtain four speckle interferograms with relative phase shift of $\pi$/2 by passive devices such as waveplate and polarizer, calculate the phase at each point of the speckle interferogram in shearography using Wollaston prism, which can be applied to the deformation evaluation of semiconductor devices, and theoretically demonstrated the feasibility of the proposed method by Jones matrix.
#Shearography #Wollaston Prism #Waveplate #Phase-shifting Technique

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