지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
자외선 검출소자로 응용될 수 있는 우수한 특성을 지진 $Al_xGa_{1-x}N$ 박막을 MOCVD 법으로 성장시킨 후 박막의 구조적인 특성을 조사하였다. 사파이어 기판 위에 성장된 $Al_xGa_{1-x}N$의 물리적인 특성을 평가하기 위해 Synchrotron Radiation XRD를 사용하였다. $Al_xGa_{1-x}N$의 두께가 커질수록 박막의 결정성은 증가하였으며 아래층은 Undoped GaN의 결정성과 성장된 $Al_xGa_{1-x}N$의 결정성이 서로 비례적인 상관관계를 가지고 있음을 알아내었다. Al 조성비는 막질에 크게 영향을 주었으며 조성비가 높아질수록 표면 형상은 매우 나빠졌다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1978 .01
-
Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성
대한전자공학회 심포지엄 논문집
1978 .01
-
상용 빔 프로젝터에서 추출한 XGA급 공간광변조기 구현 및 위상형 코드 다중화 실험
한국통신학회 학술대회논문집
2004 .07
-
Atomic Layer Epitaxy 방법으로 $Al(CH_3)_3$을 사용하여 성장한 $Al_2O_3$ 박막의 특성연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
-
ALD법으로 성장시킨 Al₂O₃ 박막의 특성분석
대한전자공학회 학술대회
2001 .06
-
습식 에칭 공정에서의 과산화수소 이상반응에 대한 안전 대책 및 제어에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2018 .04
-
HDTV/XGA AMOLED 디스플레이를 위한 10 비트 데이터 구동 회로의 설계
대한전자공학회 학술대회
2005 .11
-
InGaN/GaN 박막의 광학적 특성
한국재료학회지
2002 .01
-
분자선증착법으로 성장된 AlGaN 에피층의 표면 형상 분석
한국재료학회지
1999 .01
-
전자기 펄스 용접을 이용한 Al/Al, Al/Steel 판재 접합부 특성
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2013 .11
-
CDA 365/Al 1100과 Al 2014/Al 1100 이중 관의 다소재 압출에 관한 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2006 .05
-
Al₂O₃/Al 6061의 접합부 계면특성에 관한 연구
동력시스템공학회지
2003 .08
-
Al₂O₃/Al 6061의 접합부 계면특성에 관한연구
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
1999 .11
-
기능성 향상을 위한 Al과 Al-Si 박막의 증착 및 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
-
MOCVD를 이용한 $In_{x}Ga_{1-x}As/In_{y}Al_{1-y}As$의 최적성장
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
-
Inp 기판위에 MOCVD 로 성장된 $In_{0.52}Al_{0.48}As$ 박막에서의 3가지 형태의 규칙상의 공존
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
-
Growth and characterization of $In_XGa_1-_XAs/GaAs$ lattice mismatched heterostructure by Molecular beam epitaxy
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0