반도체 제조를 위한 엣칭 공정의 생산관리에 관한 연구

신용호 ,  서정원 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1996 .10

반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술

이용일 ,  배남진

[ETRI] 전자통신동향분석

1988 .03

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

[반도체생산자동화 연구회] 반도체 제조장치 및 공정의 최신 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2005 .03

반도체 생산공정의 제조생산성 및 자동화

구평회 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

1998 .07

반도체 기술

이진효

전자공학회지

1987 .04

반도체 기술

유영욱

정보화사회

1989 .01

반도체 제조공정에서의 환경제어 기술

김용진

대한기계학회지

1993 .02

한ㆍ일 반도체 및 장치산업의 동향

한국전자산업진흥회

전자진흥

1984 .01

반도체 소자 제조 기술 동향

성홍석

전자공학회지

2015 .01

모듈생산시스템에서의 가중 혼합 할당규칙 연구

양광모 ,  강경식 ,  박재현

산업경영시스템학회지

2004 .01

반도체용 초순수 제조 기술 현황

이용병

한국막학회 총회 및 학술발표회

2000 .01

'91년도 반도체산업의 전망과 대응

김주범

전자진흥

1991 .01

제조공기 단축을 위한 반도체 생산계획

이영수 ,  김수영 ,  예승희

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

1996 .04

반도체 제조공정에서의 입자제어

정재인

기계저널

2012 .05

반도체 제조공정의 자동화 기술 동향

이치열 ,  최낙만

전자공학회지

1987 .08

반도체용 초순수 제조 설비의 일반저 고찰

고재인

한국막학회 총회 및 학술발표회

2000 .01

반도체 제조용 식각기술

한국발명진흥회

발명특허

2005 .01

반도체 제조공정 배가스 처리기술

김용진 ,  황정호

공기청정기술

2001 .01

반도체 소자 제조의 Yield 개선

장동

전자공학회잡지

1983 .10