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반도체 제조를 위한 엣칭 공정의 생산관리에 관한 연구
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
1996 .10
반도체 T/F 공정의 생산 일정 계획 시스템
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
1995 .10
반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술
[ETRI] 전자통신동향분석
1988 .03
반도체 생산공정의 제조생산성 및 자동화
제어로봇시스템학회지
1998 .07
반도체 생산시스템의 공정운영 분석 및 관리제어
제어로봇시스템학회지
1998 .07
반도체 제조공정에서의 환경제어 기술
대한기계학회지
1993 .02
반도체에 관하여
전자공학회지
1965 .07
[반도체생산자동화 연구회] 반도체 제조장치 및 공정의 최신 동향
제어로봇시스템학회지
2005 .03
반도체 기술
정보화사회
1989 .01
반도체 기술
전자공학회지
1987 .04
반도체 제조공정의 자동화 기술 동향
전자공학회지
1987 .08
반도체 제조공정 배가스 처리기술
공기청정기술
2001 .01
반도체 산업에서의 생산 일정계획 모델
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1996 .10
반도체 제조공정에서의 입자제어
기계저널
2012 .05
반도체 집적회로 제조 공정에서의 최적생산계획
제어로봇시스템학회지
2001 .07
반도체 제조공정에서 오염분석 기술과 응용
공기청정기술
2006 .01
반도체 제조공정의 조립자동화 기술
전기의세계
1990 .06
제조공기 단축을 위한 반도체 생산계획
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
1996 .04
반도체 Wafer Fabrication공정의 생산일정계획시스템
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
1994 .10
새로운 반도체 제조장치의 구성법 = 저비용$\cdot$고생산성 반도체 제조라인 실현을 목표로 =
공기청정기술
2001 .01
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