Modeling and Control of a Four Mount Active Micro-vibration Isolation System

Banik, Rahul; Gweon, Dae-Gab

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자료유형: 학술저널

저자정보: Banik, Rahul (NOM lab, Dept. of Mech. Eng., KAIST) Gweon, Dae-Gab (NOM lab, Dept. of Mech. Eng., KAIST)

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제5권 제4호

발행연도: 2006.1

수록면: 41 - 45 (5page)

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Micro vibration isolation, typically originated from ground, is always a prime concern for the nano-measurement instruments such as Atomic Force Microscopes. A four mount active vibration isolation system is proposed in this paper. Modeling and control of such a four mount system was analyzed. Combined active-passive isolation principle is used for vibration isolation by mounting the instrument on a passively damped isolation system made of Elastomer along with the active stage in parallel that consists of very soft actuation system, the Voice Coil Motor. The active stage works in combination with the passive stage for working as a very low frequency vibration attenuator.

#Seismic vibration #Elastomer #Hybrid active passive vibration isolation

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이 논문의 저자 정보

Banik, Rahul

소속기관 NOM lab, Dept. of Mech. Eng., KAIST

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Gweon, Dae-Gab

소속기관 NOM lab, Dept. of Mech. Eng., KAIST

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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