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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
임경화 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) 진경복 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) 안채헌 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부 대학원) 박정근 (GW-TECH)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2006.1
수록면
184 - 189 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2010

공기스프링과 압전구동기를 이용한 능동 제진 테이블의 제어기 설계
임경화 ,  안채헌 ,  최경락 외 1명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2010.10 학술대회자료
공기스프링과 압전구동기를 이용한 능동 방진 모듈의 설계 방법
임경화 ,  안채헌 ,  이규섭 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2010.04 학술대회자료

2008

공기스프링과 압전구동기를 이용한 능동 방진 모듈 개발
임경화 ,  안채헌 ,  진경복 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2008.11 학술대회자료

2006

공기스프링을 이용한 방진 테이블의 능동 제어
임경화 ,  진경복 ,  안채헌 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

초록· 키워드

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In the process of accurate manufacture and measurement, it is necessarily required to isolate external or internal vibration due to external disturbance and internal actuators. The higher vibration isolation system gets damping around resonance, the better it is generally. This paper analyzes the performance of an existing passive air-spring for vibration isolation table by rising experiment and simulation. Optimal design for a passive air spring can be obtained by fluting the size of the orifice. Also design for an active isolation system is carried out by applying PID controller and considering non-linearity of pneumatic characteristics with help of look-up table. We have developed the act ive vibration isolation table wi th the bet ter isolation performance.

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