개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이 논문의 연구 히스토리 (4)
1997
PEMOCVD에 의한 강 유전체 $\textrm{SrBi}_{2}\textrm{Ta}_{2}\textrm{O}_{9}$박막의 제조 및 증착온도 특성
성낙진
,
윤순길
한국재료학회지
1997.01
학술저널
플라즈마를 이용한 유기금속 화학증착법에 의한 강 유전체 $\textrm{SrBi}_{2}\textrm{Ta}_{2}\textrm{O}_{9}$ 박막의 제조
성낙진
,
김남경
,
윤순길
한국재료학회지
1997.01
학술저널
Plasma-Enhanced MOCVD법에 의해 MOCVD-Pt 위에 제조된 강 유전체 Sr${Bi}_{2}{Ta}_{2}{O}_{9}$ 박막의 특성
성낙진
,
최은석
,
윤순길
한국재료학회 학술발표대회
1997.01
학술대회자료
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
PEMOCVD에 의해서 SrBi$_{2}$Ta$_{2}$O$_{9}$밥막이 낮은 온도에서 성공적으로 Pt/Ti/SiO$_{2}$Si위에 증착되었다. 5$50^{\circ}C$에서 증착된 200nm박막은 치밀하고 작은 결정립을 보였으며 3V의 인가전압하에서 이력곡선은 포화되기 시작하였다. 3V에서 박막은 잔류분극 (P$_{r}$)과 항전계(E$_{c}$)는 각각 15$\mu$/$\textrm{cm}^2$과 50kV/cm이었다. 6V bipolar square pulse의 피로측정에서 박막은 1.0x$10^{11}$cycles까지 피로 현상을 보이지 않았다. PEMOCVD에 의해서 5$50^{\circ}C$에서 증착된 SBT박막은 비휘발성 기억소자에 충분히 활용할 수 있다.다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
RF magnetron sputtering법에 의해 제조된 $\textrm{SrBi}_{2}\textrm{Ta}_{2}\textrm{O}_{9}$박막의 강유전 특성에 관한 연구
한국재료학회지
1997 .01
-
$\textrm{SiO}_2$-$\textrm{B}_2\textrm{O}_3$-CaO-$\textrm{P}_2\textrm{O}_5$계에서 조성이 Aerosol Flame Deposition법에 의해 제조된 유리박막의 열처리 온도와 굴절률에 미치는 영향
한국재료학회지
1999 .01
-
SOFC용 $\textrm{La}_{0.68}\textrm{Ca}_{0.32}\textrm{Cr}_{0.97}\textrm{O}_{3}$의 기계적 및 전기적 특성
한국재료학회지
1997 .01
-
$(\textrm{Fe}_{1-x}\textrm{Co}_{x})_{89}\textrm{Zr}_{11}$ 비정질 자성박막의 자기특성(II)
한국재료학회지
1999 .01
-
$\textrm{Li}_2\textrm{ZrO}_3$ 계를 이용한 $\textrm{CO}_2$ 가스 센서
한국재료학회지
1999 .01
-
$\textrm{CuO}-\textrm{Bi}_{2}\textrm{O}_3-\textrm{V}_2\textrm{O}_5$계 글라스에서 조성 변화에 따른 전기 전도도의 특성
한국재료학회지
1998 .01
-
Nd-Fe-B계 소결자석의 자기적 특성에 미치는 첨가원소와 결정립 분포의 영향
한국재료학회지
1998 .01
-
공침법으로 제조된 $\textrm{SnO}_2-\textrm{In}_2\textrm{O}_3$ 계의 가스감응특성 및 감응기구
한국재료학회지
1998 .01
-
$\textrm{O}_2$ 및 $\textrm{H}_2\textrm{O}$를 산화제로 하는 $\textrm{NH}_3$/$\textrm{O}_2$산화의 성장모델 제안
한국재료학회지
1999 .01
-
Bi-2212산화물 고온초전도체의 결정학적 위치에 의존하는 $^{16}\textrm{O}^{18}\textrm{O}$ 교환반응
한국재료학회지
1997 .01
-
$\textrm{Y}_{0.8}\textrm{Ta}_{0.2}\textrm{O}_{1.7}$-MO(M=Ba, Sr, Ca 및 Mg)계에 있어서 형석구조의 생성
한국재료학회지
1997 .01
-
기계적 합금화 공정으로 제조한 n형 $\textrm{Bi}_{2}(\textrm{Te}_{0.9}\textrm{Se}_{0.1})_3$ 가압소결체의 미세구조와 열전특성
한국재료학회지
1997 .01
-
($\textrm{Zr}_{0.8}\textrm{Sn}_{0.2}$)$\textrm{TiO}_{4}$ 세라믹스의 마이크로파 유전특성에 미치는 ($\textrm{B}_{2}\textrm{O}_{3}$.$\textrm{Li}_{2}\textrm{O}$)의 영향
한국재료학회지
1999 .01
-
SOFC용 $\textrm{La}_{0.68}\textrm{Ca}_{0.32}\textrm{Cr}_{0.97}\textrm{O}_{3}$연결재료의 소결거동
한국재료학회지
1997 .01
-
Annealing 효과에 의한 $(\textrm{Li}_{1/2}\textrm{Nd}_{1/2})\textrm{TiO}_{3}$ 세라믹스의 고주파 유전특성
한국재료학회지
1997 .01
-
$\textrm{Cd}_{x}\textrm{Ni}_{1-x}\textrm{Fe}_{2}\textrm{O}_{4}$의 Mossbauer 스펙트럼
한국재료학회지
1997 .01
-
HVOF 용사된 $\textrm{Cr}_{3}\textrm{C}_{2}$-NiCr 용사층의 산화 거동
한국재료학회지
1998 .01
-
$\textrm{BaO}-\textrm{B}_{2}\textrm{O}_{3}-\textrm{Fe}_{2}\textrm{O}_{3}$계 유리에서 핵형성제가 결정화에 미치는 영향
한국재료학회지
1997 .01
-
$\textrm{Bi}_{1-x}\textrm{Nd}_{x}\textrm{NbO}_{4}$ 세라믹스의 마리크로파 유전특성
한국재료학회지
1997 .01
-
$(\textrm{Fe}_{1-x}\textrm{Co}_{x})_{89}\textrm{Zr}_{11}$ 비정질 자성박막의 자기특성(l)
한국재료학회지
1997 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0