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자료유형
학술대회자료
저자정보
이정화 (서울대학교 재료공학부) 윤여건 (서울대학교 재료공학부) 주승기 (서울대학교 재료공학부)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
2003.1
수록면
201 - 201 (1page)

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It has been well known that Ni-MILC TFTs are acceptable for operation of LCD devices but still decrease of annealing temperature is desirable for the future devices like LCD on the plastic substrate. In this work, Cu was added to Ni-MILC in an attempt to lower the annealing temperature and enhance the MILC rate. It has been found that even small amount of Cu addition enhances the MlLC rate considerably. Also well One MILC can be distinguished from island type, which cannot be observed in pure Ni-MILC. Poly TFTs were fabricated with Cu/Ni-MILC and the effects of copper addition on the electrical properties were carefully investigated.

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