고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조된 SRSO 박막의 구조적, 광학적 특성

김승원; 조남희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김승원 (인하대학교 재료공학부 반도성재료연구실) 조남희 (인하대학교 재료공학부 반도성재료연구실)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2003.1

수록면: 191 - 191 (1page)

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김승원

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조남희

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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