PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 제조 및 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)

김희제 ,  문덕쇠 ,  진윤식 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )

김우진 ,  임우택 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과

서지민 ,  정민창 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

Growth and Characterization of a-Si :H and a-SiC:H Thin Films Grown by RF-PECVD

Y. T. Kim ,  S. J. Suh ,  D. H. Yoon 외 8명

한국표면공학회지

2001 .10

PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구

심찬호 ,  김하나 ,  김성준 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

Si 함량이 PECVD SiON 박막의 전기적 및 광학적 물성에 미치는 영향

유춘근 ,  구자춘 ,  오수진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

고주파 마그네트론 스퍼터 기법으로 제조된 Al:ZnO 박막의 미세구조 및 전기적, 광학적 특성

최정호 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과

손승익 ,  신동혁 ,  김서한 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF 마그네트론 스퍼터법으로 성장한 p-i-n LED 구조의 특성평가

공보현 ,  김영이 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

Si 및 InP 위에 PECVD법에 의한 $Si_{3}N_{4}$의 증착

김남준 ,  유순재 ,  김앙서 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01