Laser Molecular Beam Epitaxy system에서 Reflection High Energy Electron Diffraction을 통한 $BaTiO_3$/Sr$TiO_3$ 산화물 인공격자의 성장과 구조적 분석

이창훈; 김이준; 전성진; 김주호; 최택집; 이재찬

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이창훈 (성균관대학교 재료 공학과 반도체/박막 소자 연구실) 김이준 (성균관대학교 물리학과) 전성진 (성균관대학교 재료공학과) 김주호 (성균관대학교 재료공학과) 최택집 (성균관대학교 재료공학과) 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2003.1

수록면: 53 - 53 (1page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2003

Laser molecular beam epitaxy법을 이용한 BaTiO₃/ SrTiO₃인공격자의 성장과 Reflection High Energy Electron Diffraction 분석

이창훈 , 김이준 , 전성진 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2003.08 학술대회자료

Laser Molecular Beam Epitaxy system에서 Reflection High Energy Electron Diffraction을 통한 $BaTiO_3$/Sr$TiO_3$ 산화물 인공격자의 성장과 구조적 분석

이창훈 , 김이준 , 전성진 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

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최근 높은 유전상수와 잔류 분극, 비선형 등의 다양한 유전적인 특성으로 인해 산화물 박막이 많은 관심을 가지고 연구되어지고 있다. 많은 산화물 박막중에서도 BaTiO3/SiTiO3 (BTO/STO) 인 공격자는 STO나 BTO 또는 (Ba$_{0.5}$ Sr$_{0.5}$)TiO$_3$ (BST)등의 고용체들과 비교했을 때 아주 뛰어난 유전적인 성질을 나타내고 있다. 특히 1000 $\AA$ 이하의 낮은 두께에서도 높은 유전상수와 비선형도를 가진다는 사실이 선행된 실험에서 밝혀졌는데 BTO와 STO를 각각 2 unit cell (8 $\AA$)로 고정 시킨 후 다층 박막으로 제작했을 때 가장 큰 유전 특성을 얻을 수 있었다. 이런 뛰어난 유전적인 성질은 BTO와 STO 각 층의 두께와 주기 변화에 따른 박막 내부의 인위적인 stress와 그에 따른 격자 변형과 아주 밀접한 관계가 있음으로 생각되어진다. 따라서 이런 두 계면에서의 stress와 격자 변형을 더욱 정착하게 분석하기 위해서는 각 층을 원자 단위로 정확하게 두께 제어를 하고 증착되어지는 과정중에서의 growth mode를 확인하는 것이 무엇보다 중요한 일이다.

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