$Ba_{X}Sr_{1-X}$$TiO_3$ (BST)용 하부전극 $SrRuO_3$ 박막의 미세구조와 계면반응에 관한 연구

오상호 ,  박찬경

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Characterization of SrRuO3 Conducting Thin Films Grown on p-Si (100) Substrates by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

Nguyen Duy Cuong ,  윤순길

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2005 .01

Pulsed Laser Deposition에 의해 SrRuO3/SrTiO3 기판위에 여러 가지 증착온도에서 증착된 Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 박막의 특성

이우성 ,  정관호 ,  윤순길 외 8명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

증착조건에 따른 백금 박막의 에피탁시 성장거동 변화

문형모 ,  김상섭 ,  안건호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

SrRuO3 전극 박막 위에 증착된 PZT 박막의 구조 및 강유전 특성

이명복

전기전자재료학회논문지

2016 .01

MBE장치에 의한 에피 성장 두께 균일도 계산 ( Calculations of Thickness Uniformity in Molecular Beam Epitaxial Growth )

윤경식 ,  김은규 ,  민석기

전자공학회논문지-A

1993 .08

Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )

신정훈 ,  김재현 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .06

PLD법을 사용하여 Si 기판에 에피성장시킨 강유전체 박막의 구조 및 전기적 특성 연구

김종훈 ,  김용성 ,  박배호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과

李鐵眞

전기학회논문지

1998 .12

Systematic tuning of hydrogen-induced phase transition in VO₂ epitaxial thin film

윤효진 ,  최민석 ,  박재성 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

선택적 에피택시를 위한 에피택셜층 및 폴리실리콘의 성장과 에칭 ( Growth and Etching of Epitaxial Layer and Polysilicon for the Selective Epitaxy )

조경익 ,  김창수 ,  정호선 외 1명

전자공학회지

1985 .01

반응성 스퍼터링을 이용한 Co-N 박막 형성 및 이를 이용한 $CoSi_2$ 에피층 성장

이승렬 ,  김선일 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 epitaxial BaTiO3 박막 성장과 유전특성

현태선 ,  조영우 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

에피탁시 ZnO 성장용 다양한 면 사파이어 기판의 열처리에 따른 표면 형상의 변화

이재욱 ,  이정용 ,  한석규 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

결정상에 대한 고용체가 Bi₂Sr₂Ca_n-1Cu_nO_x(n=0, 1, 2) 박막의 특성에 미치는 영향

양승호 ,  이호식 ,  박용필

한국정보통신학회논문지

2007 .06

DCS Post Flow 가 WSi_x 박막 특성에 미치는 영향

鄭陽喜 ,  姜聲俊 ,  姜喜淳

전기학회논문지 C

2003 .04

펄스 레이저 증착법에 의한 sapphire ( 0001 ) 기판위에 에피 성장된 LiNbO3 박막의 증착 ( Pulsed Laser Deposition of Epitaxial LiNbO3 Films on Sapphire ( 0001 ) Substrates )

이시형 ,  노태원 ,  이재형

대한전자공학회 학술대회

1994 .01