기판 바이어스 변화에 따른 BN박막의 미세구조와 응력 변화

김홍석; 최인훈; 백영준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김홍석 (고려대학교 재료공학과) 최인훈 (고려대학교 재료공학과) 백영준 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2001.1

수록면: 124 - 124 (1page)

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김홍석

소속기관 고려대학교 재료공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 2 이용수 4

최인훈

소속기관 고려대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 29 이용수 13

백영준

소속기관 한국과학기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 57 이용수 1,112

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