반응성 RF 스퍼터링법에 의해 성장된 비정질 및 결정질 Ni 산화물 박막의 전기변색 특성에 관한 연구

안광순 ,  염준호 ,  김석순 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Effects of Sputter Parameters on Electrochromic Properties of Tungsten Oxide Thin Films Grown by RF Sputtering

Nah ,  Yoon-Chae

한국재료학회지

2011 .01

RF 스퍼터링법에 의한 세라믹 박막의 표면형상 및 구조

김진사 ,  조춘남 ,  최운식 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .07

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가

조상현 ,  이재근 ,  이성호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구

송영식

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

스퍼터링으로 증착한 바나듐 텅스텐 산화물 박막의 전기화학적 거동

박영신 ,  이병일 ,  주승기

한국표면공학회지

1997 .04

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

스퍼터링 조건이 티탄산화물박막의 전기적 착색 특성에 미치는 영향

이길동

한국태양에너지학회 논문집

2006 .12

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

RF 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 기판온도 영향

金鎭士 ,  吳容喆 ,  曺春男 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .10

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향

신동혁 ,  김준아 ,  안태현 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성 ( Characteristics of Ta2O5 Films by RF Reactive Sputtering )

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절

이태호 ,  이규한 ,  안진호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RuO$_2$ 하부전극 상에 증착된 BST박막의 $O_2$/Ar비 변호에 따른 전기적 특성 고찰

이공수 ,  원진희 ,  백수현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO 박막의 구조 및 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재천 외 4명

한국재료학회지

2002 .01

지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용

고동찬 ,  김용제

한국지하수토양환경학회 학술발표회

2003 .01

반응성 RF마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작한 TiO₂ 박막의 광촉매 특성

이정철 ,  이건환 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

반응성 스퍼터링에서 산화 티타늄 박막의 성장 특성

이필홍 ,  고경현 ,  안재환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

마그네트런 스퍼터링법으로 증착한 투명전극용 Al도핑된 ZnO의 공정 분위기에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성비교

임근빈 ,  이종무

한국재료학회지

2005 .01