The Influence of Dry Etching Process by Charged Static Electricity on LCD Glass

Kim, Song-Kwan; Yun, Hae-Sang; Hong, Mun-Pyo; Park, Sun-Woo

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저자정보: Kim, Song-Kwan (Department of Control & Instrumentation Engineering, University of Seoul) Yun, Hae-Sang (Department of Electronics Engineering, University of Chung woon) Hong, Mun-Pyo (AM LCD division strategic R & D group, Samsung Electronics Co.) Park, Sun-Woo (Department of Control & Instrumentation Engineering, University of Seoul)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회 한국정보디스플레이학회 2000년도 제1회 학술대회 논문집

발행연도: 2000.1

수록면: 77 - 78 (2page)

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We verified the charged static electricity on LCD glass influences upon the etching uniformity of dry etching process by plasma. In the TFT-LCD manufacturing process, we mainly paid attention to eliminate the static electricity for TFT reliability. The static electricity caused the serious ununiformity of etching surface profile and etching rate in the dry etch process. Through our experiment on the made static electricity from -200V to -1000V, it was confirmed that the static electricity on LCD glass caused the etching rate variation of $1.5%{\sim}15%$. We recommend the etching process equipment for LCD manufacturing have to establish the soft X-ray exposure module system for eliminating the static electricity inside the loading and unloading chamber.

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Kim, Song-Kwan

소속기관 Department of Control & Instrumentation Engineering, University of Seoul

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 2 이용수 1

Yun, Hae-Sang

소속기관 Department of Electronics Engineering, University of Chung woon

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 1

Hong, Mun-Pyo

소속기관 Korea Dept. of Display and Semiconductor Physics, Korea University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 18 이용수 10

Park, Sun-Woo

소속기관 School of Electronic Eng. Univ. of Seoul

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 4 이용수 1

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