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저자정보
Yanase, Tomoki (Nippon Electric Glass Co., Ltd.) Miwa, Shinkichi (Nippon Electric Glass Co., Ltd.) Yamazaki, Hiroki (Nippon Electric Glass Co., Ltd.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
발행연도
2007.1
수록면
857 - 859 (3page)

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Durability of LCD glass, OA-10 and OA-21, to $SiCl_4$ and $SF_6$ gases was investigated. Reaction products are generated on the glass surface. The reaction products are reduced by changing the etching conditions. the durability of OA-10 and OA-21 to the dry etching gases is comparable.

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