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학술대회자료
저자정보
Kang, Seung-Youl (Micro-Electronics Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Jung, Moon-Youn (Micro-Electronics Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Cho, Young-Rae (Micro-Electronics Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Song, Yoon-Ho (Micro-Electronics Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Lee, Sang-Kyun (Micro-Electronics Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Kim, Do-Hyung (Micro-Electronics Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Lee, Jin-Ho (Micro-Electronics Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Cho, Kyoung-Ik (Micro-Electronics Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회 한국정보디스플레이학회 2000년도 제1회 학술대회 논문집
발행연도
2000.1
수록면
219 - 220 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2000

Formation of an Aluminum Parting Layer in the Fabrication of Field Emitter Arrays Using Reflow Method
Kang ,  Seung-Youl ,  Jung 외 13명 한국정보디스플레이학회 학술대회 2000.01 학술대회자료

1998

Fabrication of Silicon Field Emitter Arrays Using Low Temperature Processes
Kang ,  Seung-Youl ,  Kwon 외 9명 한국재료학회 학술발표대회 1998.01 학술대회자료

초록· 키워드

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We propose a new method for the formation of an aluminum parting layer in the fabrication of field emitter arrays, in which we used a reflow property of aluminum at a lower temperature than the deformation point of glass. After the sputtered aluminum layer on the gate metal was etched for the formation of gate holes, we carried out a rapid thermal annealing process, by which the aluminum slightly diffused into the gate hole. This reflowed aluminum could be used as a parting layer and emitter arrays were easily fabricated using this method.

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