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장연수 (서울대학교) 김현철 (서울대학교) 전국진 (서울대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2007년도 추계학술대회 논문집Ⅱ
발행연도
2007.11
수록면
371 - 372 (2page)

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In this paper, using aluminum anodizing technique aluminum sheet is selectively anodized to design and fabricate passive device on aluminum sheet. The proposed process is simpler than conventional via etching and filling process. Aluminum layer protected by photoresist is kept from anodizing, which ... 전체 초록 보기

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