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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
장수익 (포항공과대학교 재료공학과) 최병철 (포항공과대학교 재료공학과) 장현명 (포항공과대학교 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제6권 제5호
발행연도
1996.1
수록면
449 - 456 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1996

Sol-Gel 법에 의한 BST 강유전 박막의 합성과 유전 특성
장수익 ,  최병철 ,  장현명 한국재료학회지 1996.01 학술저널
Sol-Gel 법에 의한 BST 강유전 박막의 제조 및 전기적 특성
장수익 ,  장현명 한국재료학회 학술발표대회 1996.01 학술대회자료

초록· 키워드

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BaO, SrCI2.6H2O 그리고 Ti(OPri)4를 출발 원료로 사용하여 균일한 BaxSr1-xTiO3(BST) 솔을 합성하였고, BST 박막을 회전 코팅 법으로 Si 및 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 제조하였다. 적외선 및 NMR 스펙트럼 분석으로 킬레이션 조제로 사용한 acetylacetone(AcAc)이 엔올 형태로 Ti-알콕사이드와 결합하여 솔 안정화에 기여함을 확인하였다. Xedrogel에 대한 DT/TGA 및 적외선 스펙트럼 결과로부터 페로브스카이트 상생성이 $600^{\circ}C$ 이상에서 이루어짐을 관찰하였다. $700^{\circ}C$에서 열처리한 박마은 -300(10 KHz)의 상대유전율을 나타내었고, 결정립의 저항 및 입계의 병렬 RC 성분으로 등가회로를 구성할 수 있었다.

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