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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김명근 (수원대학교 전자재료공학과) 이문희 (수원대학교 전자재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제5권 제7호
발행연도
1995.1
수록면
850 - 857 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1995

반응성 전자빔 방법에 의한 써모크로믹 V$_{1-x}$ Sn$_{x}$O$_2$박막
김명근 ,  이문희 한국재료학회지 1995.01 학술저널

1994

반응성 전자빔 방법에 의한 써모크로믹 $VO_2$ 박막
김명근 ,  이문희 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료
스마트 윈도우용 $V_{1-x}Sn_{x}O_{2}$ thermochromic 박막
김명근 ,  이문희 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

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반응성 전자빔 증착 방법으로 여러 산소압력 하에서 VO$_x$ 및 V$_{1-x}$ Sn$_{x}$O$_2$박막을 유리 위에 코팅하였다. Thermochromism과 천이온도는 spectrophotometer를 이용하여 여러 온도에서 파장에 따른 광투과율을 측정하여 조사하였다. 화학양론비를 RBS로 조사한 결과 산소 압력이 5$\times$$10^{-5}$ Torr 일때 가장 뚜렷한 thermochromic 효과를 나타내는 완전에 가까운 화학양론비를 갖는 VO$_2$박막을 제작할 수 있었다. 그리고 박막의 결정화를 위하여 rapid thermal annealing (RTA) 방법을 적웅한 결과 공기중에서 40$0^{\circ}C$~45$0^{\circ}C$에서 20~30초간의 어닐링 하였을 때가 두께 100~300nm의 박막을 결정화시키는데 최적조건으로 발견되었다. 또한, Sn을 VO$_2$에 1%~6% 첨가한 V$_{1-x}$ Sn$_{x}$O$_2$박막의 써모크로미즘 및 천이온도를 spectrophotometer로 근적외선의 투과율을 측정하여 조사한 결과 뚜렷한 thermochromism은 그대로 유지되었고 V$_{1-x}$ Sn$_{x}$O$_2$, 박막의 천이온도는 VO$_2$박막의 천이온도 보다 높게 나타났다.

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