HOMOEPITAXIAL GROWTH OF HIGH QUALITY 6H-SiC THIN FILMS USING BIS-TRIMETHYLSILYLMETHANE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

Jeong ,  Jae-Kyeong ,  Nah 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

화학기상증착조건이 SiC/C계 FGM증착에 미치는 영향 : I. SiC/C 증착에 관한 연구

강병윤 ,  김유택 ,  오근호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

화학 기상 증착법으로 제조된 h-BN층을 가진 SiC/SiC 복합소재의 제조 및 특성 평가 연구

이슬희 ,  김세영 ,  성영훈 외 2명

한국에너지학회 학술발표회

2018 .11

Growth of 3C-SiC ( 111 ) Thin Films by Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition

Y. H. Seo ,  K. S. Nahm ,  H. W. Shim 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Fabrication of 4H-SiC Schottky Barrier Diodes with the epilayer grown by Bis-trimethylsilylmethane precursor

Myeong Sook Oh ,  Ho Keun Song ,  Jeong Hyun Moon 외 5명

ICPE(ISPE)논문집

2007 .10

증착변수가 SiC 화학증착에 미치는 영향

소명기 ,  남인탁

산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소

1984 .01

SiC/SiC 복합재료의 제조 및 특성

이상필 ,  이진경 ,  손인수

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

저압화학기상증착법에 의한 C/SiC 경사기능재료의 증착온도에 따른 특성

김정일 ,  최두진 ,  김원주 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Nd-Yag 레이저 화학증착을 이용한 SiC 로드 성장에 관한 실험적 연구

이영림 ,  유재은

대한기계학회 논문집 A권

2004 .04

플라즈마 화학증착법에 의한 $\mu$C-SiC:H 박막의 성장

김현철 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

SiC 단체와 SiC/SiC 복합재료의 충격파괴거동

서민수 ,  서창민

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

유기실리콘화합물 원료를 이용한 $\beta$-Sic 단결성 박막 성장 및 버퍼층의 역할

방욱 ,  최연식 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

용융함침법에 의한 반응소결 SiC/SiC 복합재료의 특성 평가

이상필 ,  신윤석 ,  A. Kohyama

대한기계학회 논문집 A권

2007 .02

반응소결 SiC 재료와 SiC_f/SiC 복합재료의 특성

진준옥(Joon-Ok Jin) ,  이상필 ,  이진경 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

고온가압소결한 SiCf/SiC 복합체에서 보호층으로써의 SiC 층이 기계적 물성에 미치는 영향

정명훈 ,  김대종 ,  김원주 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2012 .01

SiC 에피 박막 성장기술

서한석 ,  방욱

조명·전기설비

2016 .03

HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장

정귀상 ,  김강산 ,  한기봉

전기전자재료학회논문지

2007 .01