Pt/$RuO_2$이종 전극의 증착 및 PZT 강유전체 박막에 미치는 영향

이희철; 정수옥; 이원종

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이희철 (한국과학기술원 재료공학과) 정수옥 (한국과학기술원 재료공학과) 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 한국재료학회 춘계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 1998.1

수록면: 89 - 89 (1page)

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