Rf-magnetron sputtering를 이용한 YSZ(Yttria-stabilized zirconia)박막의 제조 및 특성 평가

황순원 ,  박준용 ,  배정운 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

CORRELATION BETWEEN THE MICROSTRUCTURE AND PHYSICAL PROPERTIES OF THS RE SPUTTERED YTTRIA-STABILIZED ZIRCONIA THIN FILMS

Lee ,  You-Kee ,  Pank 외 1명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Rf-magnetron sputtering system을 사용한 YBa₂Cu₃O_x초전도 박막의 제조

박성진 ,  김민기 ,  최성환 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

진덕용 ,  최대규 ,  이창엽

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF Magnetron Sputtering 으로 BST 증착한 박막의 특성연구

양기덕 ,  조해석 ,  조호진 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF magnetron sputtering에 의해 제조된 ITO 박막의 특성 및 열처리에 의한 특성 변화

김도균 ,  곽순종 ,  송광호

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

PECVD에 의한 YSZ(Yttria Stabilized Zirconia)박막 제조

김기동 ,  신동근 ,  조영아 외 3명

한국재료학회지

1999 .01