LPCVD로 제조된 다결정실리콘에 As를 주입한 시료의 비저항에 대한 온도의존성 연구

하형찬 ,  김정태 ,  고철기 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

캐스트 다결정 실리콘 내의 산소 및 탄소의 열처리 특성에 관한 연구

黃寅鉀

전기학회논문지

1998 .06

Ion Mass Doping 법을 이용한 Phosphorus 주입된 실리콘 박막의 Annealing 특성

강창용 ,  최덕균 ,  주승기

한국표면공학회지

1994 .08

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

선택적으로 도핑된 채널을 가지는 새로운 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

정상훈 ,  이민철 ,  전재홍 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

The Passivation Properties with Various Annealing Condition of P-doped Poly-Silicon/Silicon Oxide/Crystalline Silicon Structure

Sungjin Choi ,  Kwan Hong Min ,  Myeong Sang Jeong 외 6명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

In-situ 도우핑 방법을 이용하여 저온에서 제작된 폴리 실리콘 박막 트랜지스터

閔炳赫 ,  朴喆民 ,  柳俊錫 외 1명

전기학회논문지

1996 .09

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

In - Situ 로 측정한 폴리피롤 필름의 도핑정도에 따른 표면장력

이명훈 ,  김성수 ,  이종문 외 1명

폴리머

1998 .07

디스플레이 소자 개발을 위한 다결정 실리콘 확산의 컴퓨터 모델링에 관한 연구

이홍주 ,  이준하

한국산학기술학회 논문지

2004 .06

CW CO₂ Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리

양광선 ,  박종태 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

Fabrication of $MgB_2$ Wires Using the Mixed in-situ and ex-situ Powders

Pa ,  k ,  Eui-Cheol 외 15명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2008 .01

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

인산농도와 레이저 강도에 따른 다결정실리콘 태양전지의 레이저 도핑연구

배상윤 ,  배소익 ,  조영우 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

In-Situ Doped Poly를 게이트 재료로 한 MOS Capacitor 와 Transistor의 전기적 특성 ( Electrical and Reliability Characteristics of Mos Capacitor and Transistor with In-Situ Doped Poly Gate Material )

이현창 ,  이상돈 ,  노재성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

CW CO2 Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리 ( The annealing of polycrystalline silicon by CW CO2 Laser )

양광선 ,  박종태 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

이온주입에 의한 다결정 실리콘의 고유저항 모델링 ( The Resistivity Modeling of Ion Implanted Polycrystalline Silicon )

박종태 ,  이문기 ,  김봉렬

전자공학회논문지

1986 .05

급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화

이창우 ,  고민경 ,  우상록 외 4명

한국재료학회지

1997 .01

이온 도핑 방법에 의한 실리콘 박막의 도핑 연구 ( A Study on Ion Shower Doping in Si Thin Film )

유순성 ,  전정목 ,  이경하 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .05