저압기상화학증착으로 제작된 다결정 실리콘 후막의 기계적 특성

이용일; 박경호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이용일 (한국전자통신연구소 반도체 연구단) 박경호 (한국전자통신연구소 반도체 연구단)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1994년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집

발행연도: 1994.1

수록면: 31 - 31 (1page)

이용수

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