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이용수
Abstract
1. 서론
2. 다결정실리콘박막의 제작 및 특성
3. 압력센서에의 응용
4. 온도센서에의 응용
5. 습도센서에의 응용
6. 결론
참고문헌
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1997 .01
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1994 .01
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1994 .01
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전자공학회논문지
1986 .05
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대한전기학회 학술대회 논문집
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전자공학회논문지-D
1998 .12
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