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학술대회자료
저자정보
손현기 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) 노지환 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) 이제훈 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) 서정 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 한국레이저가공학회 2005년도 추계학술발표대회 논문집
발행연도
2005.1
수록면
101 - 104 (4page)

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2012

나노초 UV 레이저 응용 반도체 기판 소재의 projection ablation 가공
손현기 ,  최한섭 ,  박종식 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012.10 학술대회자료
반도체 기판용 폴리머 소재의 레이저 응용 Direct/Projection 패터닝 형상 특성 비교
손현기 ,  최한섭 ,  박종식 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012.05 학술대회자료
나노초 UV 레이저를 이용한 반도체 기저용 폴리머 미세 패터닝
손현기 ,  신동식 ,  최지연 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012.04 학술대회자료
INVAR 마스크 응용 반도체 기판 소재의 고체 UV 레이저 프로젝션 어블레이션
손현기 ,  최한섭 ,  박종식 한국레이저가공학회지 2012.01 학술저널
나노초 UV 레이저 응용 IC 기판 소재 조성별 가공 특성
손현기 ,  신동식 ,  최지연 한국레이저가공학회지 2012.01 학술저널

2011

UV 레이저 응용 반도체 기판용 임베디드 회로 패턴 가공
손현기 ,  신동식 ,  최지연 한국레이저가공학회지 2011.01 학술저널

2005

피코초 UV 레이저 펄스를 이용한 Ni 소재의 미세 패터닝
손현기 ,  노지환 ,  이제훈 외 1명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2005.01 학술대회자료

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