Nanoimprint Lithography 기술의 이해

강신일

전자공학회지

2006 .04

나노 임프린트 리소그라피와 식각 공정을 통한 알루미늄 나노 패턴 제조 방법

김상훈 ,  이기동 ,  안세원 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

레지스트 조건에 따른 나노임프린트 Filling 현상

류지형 ,  이재종 ,  정상현

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

대면적 롤 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술

임형준 ,  정상희 ,  이상욱 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

The UV-Nanoimprint Lithography with Multi-head Nanoimprinting Unit for Sub-50nm Half-pitch Patterns

Jae-Jong Lee ,  Kee-Bong Choi ,  Gee-Hong Kim 외 2명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Fabrication of Low-cost nanoimprint Mold Using Nanosphere Lithography

Geun-Hee Jeong ,  Jung-Kab Pa ,  k 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

FEM 기반 결함 분석을 이용한 나노임프린트 공정 연구

송남호 ,  손지원 ,  임성한 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

Contact Pressure Analysis of Nanoimprint Lithography for Roll Mold Fabrication

Hyungjun Lim ,  Jaejong Lee ,  Kee-bong Choi 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

Fabrication of Nanoscale Patterns by Nanoimprint Lithography and Their Applications

정건영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .10

Sol-Gel법과 Nanoimprint Lithography 기술을 이용한 직접 ZnO 나노패턴 제작 기술 개발

양기연 ,  윤경민 ,  이헌

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프제작과 패턴결함 개선에 관한 연구

박형석 ,  최우범 ,  성만영

전기전자재료학회논문지

2006 .01

Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Fabrication Silicon Nanowire Using UV-assisted Nanoimprint Lithography for Detection of Dopamine

Han KIM ,  Jin-Ho LEE ,  Eun Ji CHAE 외 3명

한국생물공학회 학술대회

2010 .10

나노임프린트 리소그래피를 이용한 유기소자용 전극형성에 관한 연구

이종화 ,  홍성훈 ,  이헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

나노임프린트를 통한 나노 구조체 제작 및 응용

송희 ,  정희수 ,  박유신 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .04

나노 임프린트 리소그라피에서 동심원 모아레를 이용한 정렬방법

김기홍 ,  이재종 ,  최기봉 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .11

몰드형상에 따른 나노임프린트 점탄성 유한요소해석

전상범 ,  김국원 ,  김남웅

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

나노임프린트 리소그래피 공정에서의 잔류층 두께 측정

허정철 ,  김경웅 ,  김광섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2012 .04

Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작

최수현 ,  김우영 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06