원자층 증착 방법에 의한 silicon oxide 박막 특성에 관한 연구

이주현 ,  박종욱 ,  한창희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Atomic Layer Deposition of TaC gate electrode with TBTDET

조기희 ,  이시우

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구

송정규 ,  박주상 ,  이한보람 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2012 .01

원자층 박막 증착법을 이용한 나노 소자 공정 및 물성 연구

남태욱 ,  김형준

인포메이션 디스플레이

2013 .01

ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 다른 박막의 구조적 특성변화

장삼석 ,  허재성 ,  김범준 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 구리배선용 텅스텐 나이트라이드 확산 방지막의 특성평가

박지호 ,  심현상 ,  김용태 외 2명

한국산학기술학회 학술대회논문집

2004 .11

리모트 플라즈마 원자층 증착 기술 및 high-k 응용

Jeon ,  Hyeong-Tag ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 ,  손영웅 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

박막 자기 Head의 개발

한국전자산업진흥회

전자진흥

1985 .01

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01

2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막증착 특성분석

이경범 ,  최병호 ,  한권덕 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

스퍼터링 전력 변화에 따른 Al thin film의 특성 분석

홍근기 ,  홍순관

한국산학기술학회 학술대회논문집

2009 .05

45 nm 테크놀로지와 그 이후를 위한 금속계 나노 박막의 원자층 증착법

김형준

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상

박용섭 ,  김남훈

전기전자재료학회논문지

2016 .01