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학술대회자료
저자정보
Noguchi, Takashi (Institut d'Electronique Fondamentale)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2002.1
수록면
31 - 33 (3page)

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Si TFTs are applied not only to stacked SRAM but also to FPD. Improvement of device characteristic such as an enhancement of carrier mobility or a reduction of leakage current is studied intensively. The TFT technology is developing based on conventional Si LSI technology. By establishing a stable fabrication process on flexible substrate and high performance characteristic uniformly and reliably, TFT technology has a possibility to develop to SOP or other highly functional applications similar to or beyond the conventional Si LSI in the era of information and telecommunication.

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