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2013
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In this work, we have fabricated TiC films by using unbalanced magnetron sputtering method with graphite and Ti targets for contact strip application of electric railway. TiC films were deposited with various substrate temperatures. We investigated various properties of TiC films prepared with various substrate temperatures, such as the hardness, surface roughness, friction coefficient, resistivity, FESEM (Field Emission Scanning Electron Microscopy), HRTEM (High Resolution Transmission Electron Microscopy) and XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy). The hardness and friction coefficient properties of TiC films were improved with increasing substrate temperature. These results indicate that the improvement of hardness and resistivity is related to the increase of sp2 clusters in TiC films. And also, the resistivity value of TiC films were decreased with increasing substrate temperature.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
3. 결론
References
참고문헌 (7)
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1. [학술지(정기간행물)] - C. Corbella / 2004 / Preparation of metal (W, Mo, Nb, Ti) containing a-C:H films by reactive magnetron sputtering / Surf. Coat. Technol. 177 (178) : 409 ~ 414
2. [학술지(정기간행물)] - T.C.S. Vandevelde / 1999 / Cutting applications of DLC, hard carbon and diamond films / Surf. Coat. Technol. 113 : 80 ~ 85
3. [학술지(정기간행물)] - Yong Seob Park / 2007 / Characteristics of Conductive Amorphous Carbon (a-C) Films Prepared by Using the Magnetron Sputtering Method / Journal of the Korean Physical Society 51 (3) : 1119 ~ 1123
4. [학술지(정기간행물)] - J. Chen / / Microstructure, Morphology and Properties of Titanium Containing Graphite-Like Carbon Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering / Tribol. Lett 49 : 47 ~ 59
5. [학술지(정기간행물)] - P. Eklund / 2005 / Structural, electrical, and mechanical properties of nc-TiC/a-SiC nanocomposite thin films / J. Vac. Sci. Technol. B 23 : 2486 ~ 2495
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